致茂電子 Chroma ATE Inc.

2011 訊息快遞
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致茂再次展示創新實力 - 奈米級3D光學輪廓儀獲頒傑出光電獎 (July 8)
2011/07/08

本次傑出光電獎得獎產品Chroma 7503三維光學輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術所發展之次奈米三維光學輪廓量測儀,透過精密的掃描系統以及創新演算法進行微奈米結構物表面輪廓的量測與分析。並可依據需求搭配彩色或單色相機進行2D量測,使系統亦具備工具顯微鏡量測功能,達到一機多用途的目的。

而7503三維光學輪廓儀新一代的系統模組化設計,具備高度彈性之組合配置,可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應用;搭載電動鼻輪,最多可同時掛載5種物鏡,使用時直接切換,省去手動更換的麻煩。同時配備電動調整移動平台,可對樣品作自動調平及定位。垂直與水平軸向掃描範圍大,適合各種自動量測之應用,樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,最適合使用於業界研發生產、製程改善以及學術研究等單位。

在眾多高科技產業中,諸如半導體、平面顯示器、光纖通訊、微機電(MEMS)、生物醫學與電子封裝等,由於微結構表面輪廓的準確性決定了產品的效能與功能,在其製程中皆需針對微結構的表面輪廓品質進行監測。有鑑於此,Chroma 7503提供多種表面參數量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業界與研究單位之需求。

此外, 7503兼具2D與3D量測,搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能,能應付產業界的各種應用需求。彈性的模組化設計,可依客戶端實際的應用需求進行搭配,讓使用者可在價格與功能規格之間取得平衡,為提升使用效率及節省成本的最佳選擇,也因此在本次光電週展覽中大放異彩。