Chroma 7500系列產品乃利用掃描白光干涉技術所發展之次奈米三維光學輪廓量測儀,透過精密的掃描系統以及創新演算法進行微奈米結構物表面輪廓的量測與分析。
Chroma 7501為一款搭配四軸手動調整移動平台之手動版本量測機型,可依據不同實驗作彈性修改。而Chroma 7502則配備五軸電動以及一軸手動調整移動平台之機型,該機型可對樣品作自動定位,垂直與水平軸向掃描範圍大,適合作為自動量測之用,樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,最適合使用於業界研發生產、製程改善以及學術研究等單位。
在眾多高科技產業中,諸如半導體、平面顯示器、光纖通訊、微機電、生物醫學與電子封裝等,由於微結構表面輪廓的準確性決定了產品的效能與功能,在其製程中皆需針對微結構的表面輪廓品質進行監測。有鑑於此,Chroma 7500系列機型提供多種表面參數量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業界與研究單位之需求。
Chroma 7500系列機型之高度解析度可達0.1nm,而Chroma 7502機型垂直軸量測掃描行程更可達到4 mm,且水平軸向亦可達次微米解析,除此Chroma 7502機型可透過電腦控制移動平台進行水平掃瞄,使其水平軸向量測範圍可達到70 × 70mm,並可依據客戶需求修改平台尺寸。 Chroma 7500系列機型搭配快速的校正程序以及演算原理,系統校正結果可以追朔至NIST標準,並結合數種創新且強固可靠的演算法,因此本系列產品可同時擁有高精準度以及大範圍量測的特質。
目前商用白光干涉分析儀最常使用之質心演算法來計算表面高度,因光線繞射的效應在某些位置產生錯誤高度計算,造成量測結果邊界輪廓出現錯誤的資訊,本系列產品採用SNOP(Sub Nano Optical Profiler)量測軟體,並搭配Chroma干涉訊號處理演算法來分析白光干涉圖譜,可將邊界錯誤問題予以避免。此外,系統亦搭載 Chroma的暗點處理功能,可有效過濾並修正無法產生干涉之問題資料點,將這些暗點去除後可降低量測上的誤差。由於暗點處理的機制在資料擷取期間執行,因此暗點濾除功能可有效率的執行,由於暗點乃參考其附件周圍資料來進行修正,因此可使得量測更加強固且可靠。
STA(Surface Texture Analysis)軟體針對表面輪廓資料分析、修正以及圖示提供完整的表面形貌呈現,更提供超過 150種線或面的輪廓參數計算,其中包含粗度、起伏、平整度、頂點與谷點等參數資料,高通濾波、低通濾波、快速傅立葉轉換以及尖點移除空間濾波等工具提供使用者進行高/低/帶通訊號濾除,且軟體亦具備多項式擬合、區域成長、整面及多區域調平方法,可靈活運用於資料處理與分析上。
Chroma 7502系統配備自動化掃描平台,藉由垂直軸自動化移動平台的掃描功能搭配快速的自動對焦演算法,可有效輔助使用者找到最佳的對焦位置,另外藉由自動調平演算法搭配傾斜調整平台可快速地將待測物調平,在短短的幾秒鐘之內無需繁複的操作,系統即可自動將待測物體調整至最佳對焦位置並予以調平進行量測。