自動光學檢測系統是結合機器視覺、光源系統與精密運動控制平台的檢測設備，具有非接觸、量測速度快、與檢測標準一致等優勢。自動光學檢測解決方案依技術可區分為兩個應用範圍：二維瑕疵檢測方案與三維形貌量測方案。